愛德華真空泵在半導體、光伏、鋰電無油無污染潔凈真空應用案例

近年來，真空泵業務高增長，光伏客戶提貨加速，半導體重要客戶形成批量。

2022年4月，由深圳市托理拆利機電設備有限公司給廣東某半導體行業項目選用了兩套愛德華Edwards真空泵，目前設備安裝調試完畢，運行穩定。在光伏、鋰電、半導體面板等要求較高的領域及其工藝特性，需要一個極其潔凈的環境以保證生產過程中產品不受空氣污染或擾動的影響，且要求真空系統絕對無油，對設備的穩定性和可靠性要求也比較高，因此Edwards真空泵是光伏鋰電半導體面板等領域中必備的通用設備，愛德華真空泵100%無油，變頻節能，安全可靠完全滿足要求。

 

半導體行業真空應用工藝介紹

半導體行業中的蒸發，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，機械手，自動化真空清掃等 所需用真空為生產真空（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。

工藝真空主要利用負壓吸附進行工件搬運或夾持，清掃真空主要利用負壓與大氣壓差進行液體或顆粒的清除或輸送。

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